Her ne kadar bu araçlar DUV serisinin en yeni modelleri olmasa da, argon florür (ArF) lazer teknolojisiyle 38nm çözünürlüğe sahip bu sistemler, 7nm sınıfı teknolojiler ve daha ince yapılar için wafer işlemeye uygun olarak tasarlandı. Çoklu desenleme teknikleri kullanılarak, bu araçlar Çin’in SMIC firması tarafından 7nm, hatta 5nm veya 3nm sınıfı çip üretiminde kullanılabilir; ancak bu süreçlerin düşük verimlilik ve yüksek maliyetlerle sonuçlanması muhtemel.
